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氧化硅薄膜-氧化铟锡膜是一种性能优良的透明导电材料,它对太阳光谱的可见光

作者:小编 时间:2021-11-22 14:56:28 点击:

氧化铟锡膜是一种性能优良的透明导电材料,它对太阳光谱的可见光范围透明,对红外光有较强的反射,而且又有低的电阻率氧化硅薄膜,并与玻璃有较强的附着力,良好的耐磨性及化学稳定性。因此它是一种比比较理想的能效材料及优良的透明电极材料。

ITO主要用于制作液晶显示器、平板显示器、等离子显示器、触摸屏、电子纸等应用、有机发光二极管、以及太阳能电池、和抗静电镀膜还有EMI屏蔽的透明传导镀膜。

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ITO也被用于各种光学镀膜,最值得注意的有建筑学中红外线-反射镀膜(热镜)、汽车、还有钠蒸汽灯玻璃等。别的应用包括气体传感器、抗反射膜、和用于VCSEL激光器的布拉格反射器。

目前制备ITO膜的主要有蒸发,热喷涂及溅射沉积等。In2O3是一种直接跃迁宽禁带半导体材料,掺Sn之后构成的In2O3:Sn n型半导体的禁带宽度比纯In2O3加宽了,掺杂的浓度直接影响膜的光学性能及电学性能。

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ITO薄膜应力规可以在高于1400℃及严酷的环境中是用,例如气体涡轮、喷气引擎、还有火箭引擎。

ITO膜层的主要成份是氧化铟锡。在厚度只有几千埃的情况下,氧化铟透过率高,氧化锡导电能力强,液晶显示器所用的ITO玻璃正是一种具有高透过率的导电玻璃。由于ITO具有很强的吸水性,所以会吸收空气中的水份和二氧化碳并产生化学反应而变质,俗称“霉变”,因此在存放时要防潮。

ITO层在活性正价离子溶液中易产生离子置换反应,形成其它导电和透过率不佳的反应物质,所以在加工过程中氧化硅薄膜,尽量避免长时间放在活性正价离子溶液中。ITO层由很多细小的晶粒组成,晶粒在加温过程中会裂变变小,从而增加更多晶界,电子突破晶界时会损耗一定的能量,所以ITO导电玻璃的ITO层在600度以下会随着温度的升高,电阻也增大。